Ученые из Мордовии нашли способ точного контроля пор в тонких покрытиях
Ученые Мордовского государственного университета им. Н. П. Огарева разработали новый способ контроля пор в тонких металлических покрытиях изделий машиностроения. Метод позволяет оперативно корректировать технологические процессы производства, сообщили в вузе. Об этом сообщает портал ТАСС.
Тонкие металлические пленки применяются в микроэлектронике, радиотехнике, оптике, лазерной технике, энергетике и машиностроении. Их качество зависит от наличия пор — пустот, которые делятся на открытые и закрытые. Закрытые поры изолированы внутри материала и могут быть невидимы для многих приборов, снижая теплопроводность, электропроводность и прочность.
Разработка позволяет определять интегральную пористость — сумму открытых и закрытых пустот — в локальной области цилиндрической формы внутри слоя толщиной от 1 до 50 мкм на плоской металлической подложке. Для этого на слой накладывают маску из фольги с круглым отверстием, затем оптическим профилографом получают профилограмму поверхности, а рентгенофлуоресцентным толщиномером измеряют эффективную толщину. Разница между геометрической и рентгеновской толщиной дает искомую величину.
Существующие методы не позволяют измерять пористость тонких слоев. Преимущество нового способа — использование приборов, которые уже есть на предприятиях, что упрощает внедрение. Основным промышленным партнером разработки является ПАО "Электровыпрямитель", изобретение создано в рамках госзадания Министерства науки и высшего образования РФ.
