Выйти на платы: российский литограф ускорит производство микросхем в 3 тыс. раз
Российский стартап завершил этап научных исследований, необходимый для создания многолучевого электронного литографа. Установка сможет засвечивать кремниевые пластины за 5–7 минут — почти в три тысячи раз быстрее, чем однолучевые аппараты. Об этом пишет издание Известия.
Ключевой узел — мультикатод — уже изготовлен и успешно испытан. Вместо одного пучка он порождает сразу множество электронных лучей, что избавляет от сложных зеркальных систем и оптических затворов, применяемых в зарубежных машинах. По мнению авторов проекта, это снижает энергопотребление и удешевляет оборудование.
Как рассказал «Известиям» руководитель проекта Евгений Гиваргизов, массив источников электронов на единой подложке имеет радиус закругления вершин всего 1,5–2 нанометра. Это один из лучших мировых показателей. Технологию уже проверили на практике; впервые проект был представлен на форуме «Сильные идеи для нового времени».
Сейчас речь идёт не о готовой машине, а о завершённом научном этапе. Следующий шаг — опытно-конструкторская разработка, и лишь затем — создание прототипа. Эксперты предупреждают: до полноценного промышленного образца может пройти ещё немало времени. Разработчики же рассчитывают получить первый опытный экземпляр примерно через три года.
